2020 ஆம் ஆண்டில், உலகளவில் ஒரு டிரில்லியனுக்கும் அதிகமான சில்லுகள் தயாரிக்கப்பட்டன, இது கிரகத்தில் உள்ள ஒவ்வொரு நபருக்கும் சொந்தமான மற்றும் பயன்படுத்தப்படும் 130 சில்லுகளுக்கு சமம்.ஆயினும்கூட, சமீபத்திய சிப் பற்றாக்குறை இந்த எண்ணிக்கை இன்னும் அதன் உச்ச வரம்பை எட்டவில்லை என்பதைக் காட்டுகிறது.
ஏற்கனவே இவ்வளவு பெரிய அளவில் சிப்ஸ் தயாரிக்க முடியும் என்றாலும், அவற்றை தயாரிப்பது எளிதான காரியம் அல்ல.சில்லுகள் தயாரிக்கும் செயல்முறை சிக்கலானது, இன்று நாம் ஆறு மிக முக்கியமான படிகளை உள்ளடக்குவோம்: படிவு, ஒளிச்சேர்க்கை பூச்சு, லித்தோகிராபி, பொறித்தல், அயன் பொருத்துதல் மற்றும் பேக்கேஜிங்.
வைப்பு
படிவு படியானது செதில் மூலம் தொடங்குகிறது, இது 99.99% தூய சிலிக்கான் சிலிண்டரிலிருந்து ("சிலிக்கான் இங்காட்" என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) வெட்டப்பட்டு மிகவும் மென்மையான பூச்சுக்கு மெருகூட்டப்பட்டது, பின்னர் கடத்தி, இன்சுலேட்டர் அல்லது குறைக்கடத்தி பொருட்களின் மெல்லிய படலம் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. செதில் மீது, கட்டமைப்புத் தேவைகளைப் பொறுத்து, முதல் அடுக்கு அதில் அச்சிடப்படும்.இந்த முக்கியமான படி பெரும்பாலும் "வைப்பு" என்று குறிப்பிடப்படுகிறது.
சில்லுகள் சிறியதாகவும் சிறியதாகவும் மாறும் போது, செதில்களில் அச்சிடும் வடிவங்கள் மிகவும் சிக்கலானதாகிறது.படிவு, பொறித்தல் மற்றும் லித்தோகிராஃபி ஆகியவற்றின் முன்னேற்றங்கள் சில்லுகளை எப்போதும் சிறியதாக ஆக்குவதற்கு முக்கியமாகும், இதனால் மூரின் சட்டத்தின் தொடர்ச்சியை இயக்குகிறது.படிவு செயல்முறையை மிகவும் துல்லியமாக்க புதிய பொருட்களைப் பயன்படுத்தும் புதுமையான நுட்பங்கள் இதில் அடங்கும்.
Photoresist பூச்சு
செதில்கள் பின்னர் "ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்" ("ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்" என்றும் அழைக்கப்படும்) எனப்படும் ஒளிச்சேர்க்கை பொருளால் பூசப்படுகின்றன.இரண்டு வகையான ஒளிச்சேர்க்கைகள் உள்ளன - "நேர்மறை ஒளிச்சேர்க்கைகள்" மற்றும் "எதிர்மறை ஒளிச்சேர்க்கைகள்".
நேர்மறை மற்றும் எதிர்மறை ஒளிச்சேர்க்கைகளுக்கு இடையிலான முக்கிய வேறுபாடு பொருளின் வேதியியல் அமைப்பு மற்றும் ஒளிச்சேர்க்கை ஒளிக்கு எதிர்வினையாற்றும் விதம் ஆகும்.நேர்மறை ஒளிச்சேர்க்கைகளின் விஷயத்தில், புற ஊதா ஒளிக்கு வெளிப்படும் பகுதி கட்டமைப்பை மாற்றி மேலும் கரையக்கூடியதாக மாறும், இதனால் பொறித்தல் மற்றும் படிவுக்காக அதை தயார் செய்கிறது.எதிர்மறை ஒளிச்சேர்க்கைகள், மறுபுறம், ஒளிக்கு வெளிப்படும் பகுதிகளில் பாலிமரைஸ் செய்கின்றன, இது அவற்றைக் கரைப்பதை மிகவும் கடினமாக்குகிறது.செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பாசிட்டிவ் ஃபோட்டோரெசிஸ்டுகள் அதிகம் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஏனெனில் அவை அதிக தெளிவுத்திறனை அடைய முடியும், மேலும் அவை லித்தோகிராஃபி நிலைக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகின்றன.செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்காக ஃபோட்டோரெசிஸ்டுகளை உற்பத்தி செய்யும் பல நிறுவனங்கள் இப்போது உலகம் முழுவதும் உள்ளன.
போட்டோலித்தோகிராபி
சிப் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஃபோட்டோலித்தோகிராபி முக்கியமானது, ஏனெனில் சிப்பில் உள்ள டிரான்சிஸ்டர்கள் எவ்வளவு சிறியதாக இருக்கும் என்பதை இது தீர்மானிக்கிறது.இந்த கட்டத்தில், செதில்கள் ஒரு ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் வைக்கப்பட்டு ஆழமான புற ஊதா ஒளியில் வெளிப்படும்.பல நேரங்களில் அவை மணல் துகள்களை விட ஆயிரக்கணக்கான மடங்கு சிறியதாக இருக்கும்.
ஒளியானது "மாஸ்க் பிளேட்" மூலம் செதில் மீது செலுத்தப்படுகிறது மற்றும் லித்தோகிராஃபி ஒளியியல் (DUV அமைப்பின் லென்ஸ்) சுருங்கி, முகமூடித் தகட்டின் மீது வடிவமைக்கப்பட்ட சுற்று வடிவத்தை செதில் மீது போட்டோரெசிஸ்டில் கவனம் செலுத்துகிறது.முன்பு விவரிக்கப்பட்டபடி, ஒளி ஒளிக்கதிர் மீது ஒளி படும் போது, ஒரு இரசாயன மாற்றம் ஏற்படுகிறது, இது முகமூடித் தட்டில் உள்ள வடிவத்தை ஒளிச்சேர்க்கை பூச்சு மீது பதிக்கிறது.
துகள் குறுக்கீடு, ஒளிவிலகல் மற்றும் பிற இயற்பியல் அல்லது இரசாயன குறைபாடுகளுடன், வெளிப்படும் வடிவத்தை சரியாகப் பெறுவது ஒரு தந்திரமான பணியாகும்.அதனால்தான், சில சமயங்களில், அச்சிடப்பட்ட வடிவத்தை நாம் விரும்பும் விதத்தில் தோற்றமளிக்க, முகமூடியின் வடிவத்தை குறிப்பாகத் திருத்துவதன் மூலம் இறுதி வெளிப்பாடு வடிவத்தை மேம்படுத்த வேண்டும்.லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் தரவுகளுடன் அல்காரிதமிக் மாதிரிகளை இணைத்து, இறுதி வெளிப்பாடு வடிவத்திலிருந்து முற்றிலும் மாறுபட்ட முகமூடி வடிவமைப்பை உருவாக்க எங்கள் அமைப்பு “கணக்கீட்டு லித்தோகிராஃபி” ஐப் பயன்படுத்துகிறது, ஆனால் அதைத்தான் நாங்கள் அடைய விரும்புகிறோம். விரும்பிய வெளிப்பாடு முறை.
பொறித்தல்
அடுத்த படியானது, விரும்பிய வடிவத்தை வெளிப்படுத்த, சிதைந்த ஒளிச்சேர்க்கையை அகற்றுவதாகும்."எட்ச்" செயல்பாட்டின் போது, செதில் சுடப்பட்டு உருவாக்கப்படுகிறது, மேலும் திறந்த சேனல் 3D வடிவத்தை வெளிப்படுத்த சில ஒளிச்சேர்க்கைகள் கழுவப்படுகின்றன.பொறித்தல் செயல்முறையானது சிப் கட்டமைப்பின் ஒட்டுமொத்த ஒருமைப்பாடு மற்றும் நிலைத்தன்மையை சமரசம் செய்யாமல் துல்லியமாகவும், தொடர்ச்சியாகவும் கடத்தும் அம்சங்களை உருவாக்க வேண்டும்.நவீன சில்லு வடிவமைப்புகளின் சிறிய பரிமாணங்களை உருவாக்க, சிப் உற்பத்தியாளர்கள் இரட்டை, நான்கு மடங்கு மற்றும் ஸ்பேசர் அடிப்படையிலான வடிவங்களைப் பயன்படுத்த மேம்பட்ட பொறித்தல் நுட்பங்கள் அனுமதிக்கின்றன.
ஒளிச்சேர்க்கைகளைப் போலவே, பொறித்தல் "உலர்ந்த" மற்றும் "ஈரமான" வகைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது.உலர் பொறித்தல் செதில் வெளிப்படும் வடிவத்தை வரையறுக்க வாயுவைப் பயன்படுத்துகிறது.வெட் எச்சிங் செதில்களை சுத்தம் செய்ய இரசாயன முறைகளைப் பயன்படுத்துகிறது.
ஒரு சிப்பில் டஜன் கணக்கான அடுக்குகள் உள்ளன, எனவே பல அடுக்கு சிப் கட்டமைப்பின் அடிப்படை அடுக்குகளை சேதப்படுத்தாமல் இருக்க பொறித்தல் கவனமாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.செதுக்கலின் நோக்கம் கட்டமைப்பில் ஒரு குழியை உருவாக்குவதாக இருந்தால், குழியின் ஆழம் சரியாக இருப்பதை உறுதி செய்வது அவசியம்.3D NAND போன்ற 175 அடுக்குகளைக் கொண்ட சில சிப் வடிவமைப்புகள், பொறித்தல் படியை முக்கியமானதாகவும் கடினமாகவும் ஆக்குகின்றன.
அயன் ஊசி
முறையானது செதில் மீது பொறிக்கப்பட்டவுடன், வடிவத்தின் ஒரு பகுதியின் கடத்தும் பண்புகளை சரிசெய்ய நேர்மறை அல்லது எதிர்மறை அயனிகளால் செதில் வெடிக்கப்படுகிறது.செதில்களுக்கான ஒரு பொருளாக, மூலப்பொருளான சிலிக்கான் ஒரு சரியான மின்கடத்தி அல்லது சரியான கடத்தி அல்ல.சிலிக்கானின் கடத்தும் பண்புகள் இடையில் எங்கோ விழும்.
சிலிக்கான் படிகத்திற்குள் சார்ஜ் செய்யப்பட்ட அயனிகளை இயக்குவதன் மூலம் மின்சாரத்தின் ஓட்டத்தை கட்டுப்படுத்த முடியும், இது சிப்பின் அடிப்படை கட்டுமான தொகுதிகளான டிரான்சிஸ்டர்களான மின்னணு சுவிட்சுகளை உருவாக்குவது "அயனியாக்கம்" என்று அழைக்கப்படுகிறது, இது "அயன் பொருத்துதல்" என்றும் அழைக்கப்படுகிறது.அடுக்கு அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட பிறகு, பொறிக்கப்படாத பகுதியைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் மீதமுள்ள ஒளிச்சேர்க்கை அகற்றப்படும்.
பேக்கேஜிங்
ஒரு செதில் ஒரு சிப்பை உருவாக்க ஆயிரக்கணக்கான படிகள் தேவை, மேலும் வடிவமைப்பிலிருந்து உற்பத்திக்கு செல்ல மூன்று மாதங்களுக்கு மேல் ஆகும்.செதில் இருந்து சிப்பை அகற்ற, அது ஒரு வைரத்தைப் பயன்படுத்தி தனிப்பட்ட சில்லுகளாக வெட்டப்படுகிறது."பேர் டை" என்று அழைக்கப்படும் இந்த சில்லுகள் 12-இன்ச் செதில் இருந்து பிரிக்கப்படுகின்றன, இது செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் மிகவும் பொதுவான அளவு, மேலும் சில்லுகளின் அளவு மாறுபடுவதால், சில செதில்களில் ஆயிரக்கணக்கான சில்லுகள் இருக்கலாம், மற்றவை சிலவற்றை மட்டுமே கொண்டிருக்கும். டஜன்.
இந்த வெற்று செதில்கள் பின்னர் ஒரு "அடி மூலக்கூறு" மீது வைக்கப்படுகின்றன - இது உலோகப் படலத்தைப் பயன்படுத்தி உள்ளீடு மற்றும் வெளியீட்டு சமிக்ஞைகளை வெற்று செதில்களிலிருந்து மற்ற அமைப்புகளுக்கு இயக்கும்.பின்னர் அது ஒரு "ஹீட் சிங்க்" மூலம் மூடப்பட்டிருக்கும், இது ஒரு சிறிய, தட்டையான உலோக பாதுகாப்பு கொள்கலனைக் கொண்டிருக்கும், இது செயல்பாட்டின் போது சிப் குளிர்ச்சியாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
நிறுவனம் பதிவு செய்தது
Zhejiang NeoDen Technology Co., Ltd. 2010 ஆம் ஆண்டு முதல் பல்வேறு சிறிய தேர்வு மற்றும் இட இயந்திரங்களை உற்பத்தி செய்து ஏற்றுமதி செய்து வருகிறது. எங்களின் சொந்த அனுபவமிக்க R&D, நன்கு பயிற்சி பெற்ற உற்பத்தியைப் பயன்படுத்தி, நியோடென் உலகளாவிய வாடிக்கையாளர்களிடமிருந்து பெரும் நற்பெயரைப் பெறுகிறது.
130 க்கும் மேற்பட்ட நாடுகளில் உலகளாவிய இருப்புடன், நியோடெனின் சிறந்த செயல்திறன், அதிக துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மைPNP இயந்திரங்கள்R&D, தொழில்முறை முன்மாதிரி மற்றும் சிறிய முதல் நடுத்தரத் தொகுதி உற்பத்திக்கு அவற்றைச் சரியானதாக்குங்கள்.ஒரு நிறுத்த SMT உபகரணங்களின் தொழில்முறை தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
சேர்: No.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Huzhou City, Zhejiang Province, China
தொலைபேசி: 86-571-26266266
பின் நேரம்: ஏப்-24-2022